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Componente de monitoramento EQ-TM106-1
Fonte de alimentação: DC 5V(±10%),Grande corrente 400mA
Resolução de frequência:± 0,03 hz
Resolução da espessura da membrana:0.0136(alumínio)
Precisão da espessura da membrana:±0.5%Dependendo das condições do processo, especialmente a localização do sensor, a tensão do material, a temperatura e a densidade
Velocidade de medição: 100ms1s/Seguinte,Configurável
Alcance de medição: 500.000 Å (alumínio)
Cristal de sensor padrão: 6MHz
Interface do computador: RS-232/485Interface serial(Taxas de portagem 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38 400 ajustáveis,Bits de dados:8,Parar bit:1,Verificação:Nada)
Saída analógica: 8Resolução de bits,Saída de modulação de largura de pulso PWM(Conjunto de eletrodos abertos ou saída interna de 5V)
Ambiente de trabalho: temperatura 0-50 ° C, umidade 5% -85% RH, sem contas de água condensada
Dimensão: 90mm×50milímetros×18 milímetros
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