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Shenyang Ke Crystal Equipamento de Automação Co., Ltd.
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Monitor de espessura de membrana EQ-TM106

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Visão geral

Monitor de espessura de membrana EQ-TM106 é o uso do princípio de oscilação de cristal de quartzo, combinado com a tecnologia de medição de frequência * para o monitoramento on-line da espessura de membrana. Aplicado principalmente no processo de preparação de filmes de MBE, evaporação térmica OLED, sputtering magnetrônico e outros equipamentos, usado para monitorar a espessura da camada de membrana e a taxa de revestimento em tempo real.

Detalhes do produto

Monitor de espessura de membrana EQ-TM106É a adoção do princípio de oscilação de cristal de quartzocombinação,* Tecnologia de medição de frequência,Monitoramento on-line da espessura da membrana. PrincipaisDeviaPara usoMBEeOLEDEquipamentos de evaporação térmica, pulverização magnetrônica e outrosdoDurante a preparação do filme,Para usoSim, sim.Espessura da camada de membrana e taxa de revestimentoRealizar em tempo realMonitoramento- É.Monitor de espessura de membrana EQ-TM106de acordo comPreparação do filmeTaxa de saída em tempo realPWM(modulação da largura do pulso)quantidade de simulação,ComoUtilização de sensores de espessura de membrana para controle de velocidade de ciclo fechado da fonte de evaporação em conjunto com regulador e fonte de energia de evaporaçãoDetectar a espessura da película preparada.- É.Monitor de espessura de membrana EQ-TM106O pequeno volume do chocolate pode economizar espaço em laboratório, o princípio é simples e fácil de operar, especialmente adequado para o uso do processo de preparação de filmes finas em laboratório.

produtonome

Monitor de espessura de membrana EQ-TM106

Modelo do produto

EQ-TM106

Características principais

1、BenmáquinaPode ser conectado ao computador- É.

2,MonitorPossuiInterfaceSimplicidadeAs vantagens, intuitivas, razoáveis, fáceis de operar e rápidas, podem mostrar intuitivamente a espessura da membrana medida, a velocidade, a frequência,PWMEstado de trabalho, como a percentagem de saída de controle- É.

Três,Configuração do tempo de controle da porta, modo de saída, algoritmo de taxa, parâmetros de material, alcance de saída e parâmetros de comunicação e gravação dos dados medidos por meio de software ou monitordo Exceldocumento- É.

4 eTem as vantagens de tamanho muito pequeno, alta precisão de medição, operação simples e fácil de usar.

parâmetros técnicos

Componente de monitoramento EQ-TM106-1

Fonte de alimentação: DC 5V(±10%),Grande corrente 400mA

Resolução de frequência:± 0,03 hz

Resolução da espessura da membrana:0.0136(alumínio)

Precisão da espessura da membrana:±0.5%Dependendo das condições do processo, especialmente a localização do sensor, a tensão do material, a temperatura e a densidade

Velocidade de medição: 100ms1s/Seguinte,Configurável

Alcance de medição: 500.000 Å (alumínio)

Cristal de sensor padrão: 6MHz

Interface do computador: RS-232/485Interface serial(Taxas de portagem 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38 400 ajustáveis,Bits de dados:8,Parar bit:1,Verificação:Nada)

Saída analógica: 8Resolução de bits,Saída de modulação de largura de pulso PWM(Conjunto de eletrodos abertos ou saída interna de 5V)

Ambiente de trabalho: temperatura 0-50 ° C, umidade 5% -85% RH, sem contas de água condensada

Dimensão: 90mm×50milímetros×18 milímetros

Monitor EQ-TM106-2

Fonte de alimentação: AC 220V±10%

Fonte de alimentação: DC 5V 3A

3. exibição: 12×2 Tubos digitaiscomLED

Porta de comunicação: RS-485Taxas de portagem 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38 400 disponíveisconfiguração,Bits de dados:oito,Parar bit:1 lugar,Verificação de paridade:Nada)

Dimensão: 182mm×65milímetros×160 milímetros

Sonda EQ-TM106-3

Frequência do chip: 6MHz

2, tamanho do chip aplicável:Ø14 milímetros

Montagem da franja: CF35

4 Tubos de água de resfriamento:Ø3 milímetrosComprimento 300mm500 milímetros, 1000 milímetros

Pressão de água de resfriamento: <0.3MPa

6, tubo de barreira pneumática:Ø3 milímetros

Pressão do ar comprimido: <0.8MPa> 0,5 MPa

8 Temperatura de cozimento:Estado da água< 200 ℃, flange de estado impermeável < 100 ℃

Interface elétrica: BCNSocket

Acessórios padrão

1

Componente de monitoramento EQ-TM106-1

Um

2

Monitor EQ-TM106-2

1 unidade

3

Sonda EQ-TM106-3

Um