Controlador de espessura de membrana

NegociávelAtualização em04/29

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Visão geral

INFICON, fabricante* de tecnologia de controle de revestimento de película fina, oferece agora instrumentos* com alto valor de produção e baixo custo de propriedade. $r$n Quer você precise controlar a qualificação do produto ou para projetos de pesquisa científica. INFICON XTC/3 pode * adaptar-se às suas necessidades. $r$n*， Controle prático da taxa de revestimento de camadas únicas e múltiplas

Detalhes do produto

Controlador de espessura de membrana

O controlador de revestimento de película fina XTC/3 para processos de revestimento de camada única e de camada múltipla é equipado com a tecnologia ModelLock1, oferecendo uma proteção de salto de modo confiável para uma qualidade de revestimento consistente. O controlador de revestimento de película fina XTC/3 permite controlar com alta precisão a velocidade de revestimento e a espessura da camada de membrana, com a capacidade de controlar quase qualquer número de camadas de membrana. Instalação fácil e confiabilidade estável garantem alta produtividade.

Características

■ Disponível em modelos de camada única e camada múltipla

Tecnologia ModelLock evita erros de espessura de membrana devido a saltos de padrão

Suporte ao INFICON Crystal 12TM, CrystalSix? Troca automática de cristal com sonda dupla para alta produtividade

O modelo multicamada XTC/3M suporta até 99 processos, 999 camadas de membrana, 32 revestimentos e 2

Sensores e duas fontes

O modelo de monocamada XTC/3S suporta até 9 revestimentos, 2 sensores e duas fontes

• Monitor gráfico TFT LCD fácil de ler

■ Nomes de filmes e processos disponíveis e descritivos para facilitar a recuperação

• Software de conexão Ethernet

Executar o Windows sozinho (sem computador) ou com um PC? Opções do software

■ Veja a substituição do controlador INFICON XTC/2 (limitado a funções e grupos de instruções XTC/2)

Controlador de espessura de membrana

Especificações técnicas

Funções, parâmetros ou especificações técnicas	Filme de camada única XTC/3S	Película multicamada XTC/3M
Alterações de frequência na resolução de medição	+ 0,05 Hz	+ 0,05 Hz
Intervalo de medição	0,25 segundos	0,25 segundos
Resolução/medição de espessura e velocidade	0.06A, na ferramenta / densidade = 100	0.06A, na ferramenta / densidade = 100
	Frequência: 6M Hz	Frequência: 6M Hz
Suporte à conversão XTAL2	sim	sim
Comunicação Computadora	Padrão RS232, opção Ethernet TCP/IP	Padrão RS232, opção Ethernet TCP/IP
Grande taxa de transmissão RS232	115,2 kilopots	115,2 kilopots
Número de relés	12 critérios, sem casos	12 critérios, exemplos
Número de funções de relé programável	1	1
Função de cada relé	1	1
Tensão nominal do relé	30 V DC ou 30 V AC RMS ou 30 V DC	30 V DC ou 30 V AC RMS ou 30 V DC
	42V pico, em 2,5 amperes	42V pico, em 2,5 amperes
Número de entradas	8TTL, 24 volts de corrente contínua	8TTL, 24 volts de corrente contínua
Número de funções de entrada programáveis	1, sem caso	1, Exemplos
Número de entradas do gravador	1	1
Controlador de alimentação manual/portátil	sim	sim
exaustor	Nada	Nada
Modo de teste	sim	sim
Atraso do bloqueador	sim	sim
Ferramentas secundárias	sim	sim
Frequência de deslocamento de fase permitida	1,0 m Hz	1,0 m Hz
Tamanho da caixa	1/2 rack, 2U altura	1/2 rack, 2U altura
Resolução de exibição de velocidade e espessura da membrana	0,1A segundo, de 0,0 a 99,9A / segundo; 1A/segundo, a partir de 100 a 999A/segundo	0,1A segundo, de 0,0 a 99,9A / segundo; 1A/segundo, a partir de 100 a 999A/segundo
	Resolução da espessura da membrana = 1A	Resolução da espessura da membrana = 1A
Escolha o revestimento pela entrada	sim	Não
Língua do Guia do Usuário	Inglês, Chinês	Inglês, Chinês
Anéis de controle	PID	PID
Login de dados	sim	sim
Qualidade e estabilidade	sim	sim
Amostras e manutenção	sim	sim
Escolha o crucible	sim	sim
Entrada de feedback do crucel	sim	sim
Selecionar a polaridade da tensão de controle	Sim, +/- 2,5, 5, 10 volts.	Sim, +/- 2,5, 5, 10 volts.
	Resolução de 15 bits	Resolução de 15 bits
Código de bloqueio do programa	sim	sim
Processo de etiquetagem/revestimento do usuário	Não	sim
Compatibilidade de comunicação RS232 XTC/2	Sim (limitado)	Sim (limitado)

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