Controlador de espessura de membrana

IC/5 multiusosControlador de espessura de membranaIdeal para controlar a taxa de deposição de camadas de membrana e a espessura da membrana em sistemas de múltiplas fontes, múltiplos crucíveis, múltiplos materiais ou múltiplos processos. O IC/5 atende às necessidades de aplicações complexas, exigentes e especiais. Ele é especializado em controle de processo, funções lógicas, capacidade de armazenamento de procedimentos e camadas de membrana, gerenciamento de dados de processo e, em particular, controle de taxas de sedimentação e espessura de membrana.

Principais parâmetros de desempenho

Resolução de frequência: 0,03 Hz a 6,0 MHz

Resolução de massa: 0,375 ng/cm²

Frequências do chip: 2,5, 3, 5, 6, 9,5, 10 MHz

Espessura da tela: 0,000 a 999,9 K & Aring;

Velocidade de formação de membrana: 00,0-999 Ang / sec (0-9,99 μm / min)

Número de camadas: 1 a 999

Display gráfico: 256 x 64 LCD, iluminação de fundo CCFL

◆ Configuração completa

◆ MDC360C anfitrião um, oscilador e cabo um conjunto, sonda um, chip 5 peças

◆ Tamanho do anfitrião: 16,98 x 3,47 x 9,355 (unidade: polegadas)

Largura do painel frontal 18,98 polegadas

Controle completo do processo

O IC/5 possui uma ampla gama de funções para iniciar o processo de evacuação, válvulas de controle, aquecedores de base e muito mais. Essas melhorias evitam que o sistema seja equipado com instrumentos auxiliares, reduzindo a complexidade e os custos do sistema. As funções lógicas e de controle do IC/5 contêm 100 estados lógicos programáveis. As placas de relé de E/S e TTL oferecem até 24 saídas de relé, 28 entradas TTL, 14 saídas TTL, 20 contagens e 20 temporizadores. Os estados lógicos podem ser combinados com entradas ou saídas externas. Cada estado pode conter até cinco funções ligadas com lógica booleana. O IC/5 oferece seis saídas analógicas atribuíveis para o controle de fonte ou a saída do gravador gráfico, a taxa de sedimentação, a espessura da membrana ou o desvio da taxa de sedimentação.

Prescrição de processos robustos e gerenciamento de dados

O controlador de camada de membrana IC/5 oferece várias funções e opções para ajudar os usuários a gerenciar as prescrições de processo e os dados de forma eficiente:

Amplo armazenamento a bordo – até 50 processos e 250 camadas de membrana. Permite acesso instantâneo aos dados de processo e arquivos de prescrição que você usa. Esta intrusividade é particularmente valiosa para processos complexos que contêm muitas camadas de membrana, para sistemas de revestimento que operam em vários processos e para aplicações como desenvolvimento ou desenvolvimento de processos.

Opção de unidade de disco – para armazenamento ilimitado de dados de processo e prescrições. Opção de software de edição offline – para digitar ou inserir dados no computador (não no painel IC/5). A programação com este software é mais conveniente e eficaz, especialmente para processos de camadas múltiplas e materiais múltiplos. Registro de dados – As informações sobre o processo (espessura da membrana final, taxa média de sedimentação, número de execuções, camadas de membrana, etc.) podem ser gravadas automaticamente em uma porta de comunicação de controle remoto, uma porta de impressora ou um disco em formato ASCII. Com a opção de unidade de disco, o IC/5 salva os dados em um formato expandido para simplificar o armazenamento e processamento de dados no processo. O registro de dados facilita a análise após a execução com uma rápida correção. Para a produção que segue a certificação ISO 9000 ou QA, o rastreamento do processo é * sim.

Auto Z -Revestimento fino para materiais de múltiplas camadas

A tecnologia Auto Z do IC/5 determina automaticamente a relação Z, melhorando a precisão de controle da espessura da película de revestimento e da taxa de sedimentação, o usuário não precisa mais calcular a relação de resistência acústica (Z)³Quando vários materiais são depositados no cristal, o valor Z varia com a proporção do material no cristal e, portanto, a mudança do valor Z é dinâmica. Auto Z Correção contínua do Z em curso. Esta função é particularmente importante para manter a espessura precisa da camada de membrana e a taxa de deposito durante o processo de deposição de materiais estratificados ou ligados em um único cristal.

³Auto Z – número americano 5.112.642

AUTO TUNE -Para configurações rápidas

A função Auto Tune do IC/5 elimina as etapas de testes repetidos, economiza tempo de configuração e determina rapidamente automaticamente a constante de circuito fechado de controle de feedback da fonte. O Auto Tune seleciona o melhor algoritmo entre vários algoritmos de controle – incluindo o algoritmo PID de três parâmetros (proporção positiva, integral e diferencial) – para alcançar um controle suave sobre uma variedade de fontes.

Medição de peças multisensores–Para alta repetitividade

Repetibilidade e uniformidade são particularmente importantes para certos revestimentos ópticos e outras aplicações. O controlador IC/5 integra medições de até oito sensores para minimizar a distribuição desigual da fonte e garantir uma boa taxa de sedimentação da camada de membrana e espessura da membrana final entre a última e a próxima operação de revestimento. Quando a placa de base gira sobre a placa de base planetária, o IC/5 coleta dados simultaneamente das posições de cada peça de sensor para garantir que a informação obtida represente a distribuição da fonte atual. Em comparação com o controlador de peças de sensor individuais, a medição de peças de sensor múltiplas melhora significativamente a repetibilidade da espessura da membrana devido à taxa de sedimentação agregada fixa da camada de membrana de controle, independentemente da flutuação na distribuição da fonte. Quando o padrão de distribuição da fonte muda, o IC/5 ajusta a potência adequadamente. Embora a taxa de sedimentação em qualquer peça de sensor possa variar significativamente, a taxa total de sedimentação permanece inalterada. A quantidade total de material depositado em cada substrato é controlada com precisão; A precisão total da espessura da membrana é de duas a três vezes maior em comparação com o controlador de uma única peça de sensor. Devido à detecção precisa de mudanças nas características devido ao desgaste da fonte, a medição de peças com múltiplos sensores pode ajudá-lo a:

Quando é necessário adicionar fontes

Determine as melhores configurações para parâmetros como varredura, alcance e vibração de alta frequência da arma eletrônica

Desenvolver uma melhor receita de processo

Como todas as peças de sensor estão ligadas a um controlador IC/5, o espaço requerido para o gabinete é pequeno e a velocidade de correção é de três a cinco vezes mais rápida do que a antiga combinação multicontrolador/computador.

Co-depositação precisa

O IC/5 controla o revestimento simultâneo de dois materiais. Ele contém um parâmetro de proporção programado que controla a proporção da liga em uma taxa de sedimentação variada, bem como um parâmetro de sensibilidade cruzada (ou cordialidade) que compensa automaticamente o revestimento de material de uma fonte para a peça de sensor usada para controlar outra fonte. A função Auto Z também contribui para a co-deposição do IC/5, mantendo a precisão da espessura da membrana quando diferentes materiais são misturados em um único cristal.

Fácil de instalar em dispositivos existentes

IC/5Controlador de espessura de membrana Cabos adaptativos para fácil instalação em instalações existentes e substituição de controladores de camada de membrana antigos da INFICON ou de outras fábricas. Por favor contacte nosso departamento para mais detalhes.