Bomba de vácuo de pressão constante

O KT-PID1000Z é um sistema de controle de pressão constante de vácuo, o sistema suporta vários modelos de bombas mecânicas rotativas de dois estágios com velocidades de bombeamento de 4 cúbicos a 16 cúbicos por hora, controlando a taxa de bombeamento da bomba de vácuo através de válvulas lineares, para obter medição precisa da pressão interna da câmara e controle de pressão constante, que pode ser combinado com o forno de tubo, revestimento, máquina de vedação e outros equipamentos da nossa empresa para alcançar o controle preciso da pressão constante de PVD, CVD e PECVD e outros processos.

Amplamente utilizado em difusão, oxidação, extensão, CVD、 Pulverização de plasma e processo de revestimento, fusão de fibras ópticas, sistemas de distribuição de gás misturado e outros instrumentos de análise.

Parâmetros técnicos:

Modo de controle: PID algoritmo de controle

Alcance de controle: 1000Pa-1Pa (taxa de bombeamento da bomba de vácuo de acordo com o tamanho da câmara)

PID ajusta a taxa de bombeamento: 0-100%

Suporte à bomba de vácuo: taxa de bombeamento de 4-16 m3/h

Flanges de vácuo de bomba: KF16 KF25 KF40