Máquina de revestimento de pulverização magnetrônica de três alvos

NegociávelAtualização em08/04

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O revestimento de pulverização de magnetrônio de três alvos CY-600-3HD é um revestimento de pulverização de magnetrônio de alto custo desenvolvido por nossa empresa, que pode ser usado para preparar uma ou várias camadas de película ferroelétrica, película condutora elétrica, película de liga, película de semicondutores, película cerâmica, película de meio, película óptica, película de óxido, película dura, película de politetrafluoroetileno, etc. Este revestimento de pulverização de magnetrônio de três alvos em comparação com equipamentos semelhantes, não só é amplamente aplicado, mas também tem a vantagem de um pequeno volume para a operação, é um equipamento ideal para preparar materiais finas em laboratório, especialmente adequado para pesquisas de laboratório sobre eletrólitos de estado sólido e OLED.

Detalhes do produto

Detalhes:

Descrição do produto:CYO pulverizador de magnetrônio de três alvos-600-3HD é um revestimento de pulverização de magnetrônio de alto custo desenvolvido por nossa empresa, que pode ser usado para preparar uma ou várias camadas de película ferroelétrica, película condutora, película de liga, película de semicondutores, película cerâmica, película de mídia, película óptica, película de óxido, película dura, película de politetrafluoroetileno, etc. Em comparação com o equipamento semelhante, ele não só é amplamente utilizado, mas também tem a vantagem de um pequeno volume para a operação, é um equipamento ideal para preparar materiais finas em laboratório, especialmente adequado para pesquisas de laboratório sobre eletrólitos de estado sólido e OLED.

Modelo do produto	Pulverizador magnetrônico de três alvos（CY-600-3HD）
Condições de instalação	Este dispositivo requer ser usado abaixo de 1000m de altitude, temperatura 25 ℃ ± 15 ℃, umidade 55% Rh ± 10% Rh. Água: equipamento equipado com máquina de refrigeração de água de auto-circulação (agregação de água pura ou água deionizada) Eletricidade: AC220V 50Hz, deve ter uma boa terra 3, gás: gás de argônio (pureza superior a 99,99%) é necessário na câmara do equipamento, o próprio cilindro de gás de argônio (com conectores duplos Ø6mm) e válvula de redução de pressão Mesa de trabalho: tamanho 1500mm x 600mm x 700mm, com peso acima de 200kg Dispositivos de ventilação: necessários
Características principais	1, configurar três armas de alvo, uma fonte de energia de radiofrequência de apoio para o revestimento de pulverização de alvos não condutores, duas fontes de energia de corrente contínua de apoio para o revestimento de pulverização de materiais condutores (a arma de alvo pode ser trocada arbitrariamente de acordo com as necessidades do cliente). 2, pode preparar vários filmes finas, amplamente aplicados. 3, tamanho pequeno, fácil de operar. 4, design modular da máquina inteira, câmara de vácuo, conjunto de bomba de vácuo, design de divisão de energia de controle, pode ajustar as necessidades de compra de acordo com as necessidades reais do usuário. 5, pode escolher a fonte de energia de acordo com as necessidades reais do usuário, uma fonte de energia pode controlar várias armas de alvo, ou várias fontes de energia podem controlar uma única arma de alvo.
Parâmetros técnicos	Tensão de alimentação: 220V 50Hz Potência Total: 2.5KW 3, limite de vácuo: <E-6mbar (acessível com equipamentos da empresa)E-5mbar） Temperatura de funcionamento: RT-500 ℃, precisão ± 1 ℃ (pode elevar a temperatura de acordo com as necessidades reais) Número de armas alvo: 3 6, método de resfriamento de arma alvo: refrigeração à água Dimensão do alvo: Ø2 ", espessura 0,1 mm-5 mm (devido a diferentes espessuras do material alvo) Potência de pulverização de corrente contínua: 500W (opcional) Potência de pulverização de RF: 300W / 500W (opcional) Portador de amostras: Ø140mm Velocidade de rotação: ajustável dentro de 1rpm-20rpm Gás de proteção: Ar, N2 e outros gases inertes Via de entrada de ar: o medidor de fluxo de massa controla 2 vias de entrada de ar, cada fluxo é de 100SCCM
Especificações do produto	Tamanho do anfitrião: 500mm x 560mm x 660mm, tamanho da máquina: 1300mm x 660mm x 1200mm; Peso: 160kg
Acessórios padrão	1	Sistema de controle de energia DC	2 conjuntos
	2	Sistema de controle de energia RF	1 conjunto
	3	Sistema de monitoramento de espessura de membrana	1 conjunto
	4	600Bomba molecularGrupo	1 unidade
	5	Refrigeração de água industrialMáquina	1 unidade
	6	Tubo de água de resfriamento (Ø6mm)	4 raizes
Acessórios opcionais	Vários alvos como ouro, índio, prata e platina.

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