Reino Unido Renishau RLD10 interferômetro diferencial

NegociávelAtualização em01/22

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O interferômetro diferencial Renishaw RLD10 do Reino Unido $r$nO interferômetro diferencial RLD10 $r$n permite medir mudanças de posição em relação ao objeto de referência definido.

Detalhes do produto

RLD10 interferômetro diferencial

O interferômetro diferencial permite medir a mudança de posição em relação ao objeto de referência definido.

Os emissores diferenciais têm um design óptico* que permite um desempenho SDE extremamente baixo. O espelho auxiliar de alinhamento a laser incorporado permite ajustar o ângulo de inclinação e torsão durante a configuração, melhorando o processo de alinhamento (apenas para aplicações de espelho plano).

O transmissor RLD10-X3-DI pode ser montado na parede externa da cavidade de trabalho através de um simples suporte de fixação de três pinos. O caminho da luz é corrigido sem entrar na cavidade de trabalho, o espelho auxiliar de alinhamento a laser incorporado pode ajustar de forma independente a inclinação e a torção do feixe de referência e medição, e o sistema de instalação é projetado para permitir a desmontagem do emissor e o ajuste da posição do emissor com um impacto mínimo na alinhamento do sistema.

Características e Benefícios

Excelente desempenho de mediçãoPrecisão de frequência constante em ppb, erro de ciclo ultra-baixo, resolução de saída de 38,6 pm.
Configuração diferencial- Medir o deslocamento da plataforma de movimento em relação aos pilares instalados, eliminando erros de padrão comuns, como o movimento das paredes laterais da área de trabalho associado às flutuações ambientais.
Ajuste rápido- Quatro espelhos auxiliares diretos a laser incorporados facilitam o ajuste direto no exterior da câmara de vácuo, eliminando assim a tolerância de instalação da câmara de vácuo e do conjunto de espelhos.

Especificações

Passagem do eixo	0 m - 1 m
Resolução (com configuração RLU)	Ortogonal analógico = λ/4 (158 nm) Ortogonal digital = 10 nm Resolução RPI20 = 38,6 pm
Erro não linear do sistema* (SDE) * Não inclui interface	±1 nm com intensidade de sinal inferior a 50 mm/s e > 70% 1 m/sec com intensidade de sinal > 50% < 6 nm
velocidade	Até 1 m/s

O Renishau RLU20 é geralmente usado para configurar a cabeça de emissão do interferômetro diferencial. A alta estabilidade da fonte laser RLU20, combinada com o alto desempenho da cabeça de emissão do interferômetro diferencial, será certamente a escolha ideal para aplicações em câmaras de vácuo e outros ambientes de ar condicionado estritamente controlados.

Reino Unido Renishau RLD10 interferômetro diferencial

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