Sistema de sedimentação a laser de pulso

Descrição do produto: Sistema de depositação a laser de pulso

Sistema de sedimentação a laser de pulso
(Sistema de deposição a laser de pulso)
País de origem: Estados Unidos
Introdução do sistema de deposição a laser de pulso PLD:
PLD é o laser de pulso através da janela de quartzo sintético para a cavidade de vácuo irradiado para o alvo de membrana, o alvo é irradiado para absorver a energia de alta densidade e formar o estado de plasma plume, em seguida, é empilhado no substrato oposto para a membrana. O método PLD pode obter novos materiais sintéticos artificiais com composição e construção de um estado teoricamente quase estável da termodinâmica.


Nosso sistema PLD tem relação preço-desempenho, configuração de parâmetros técnicos específicos:
1. alvo: quantidade de 6 peças, tamanho de 1-2 polegadas, pode ser girado automaticamente quando exposto a laser, a seleção do alvo pode ser controlada por um motor de passo;
2. substrato: o uso de placa de aquecimento de platina adequada ao ambiente de oxigênio, tamanho de 2 polegadas, temperatura de aquecimento pode chegar a 1200 graus Celsius, diferença de temperatura < 3%, quando o aquecimento do substrato pode girar, a pressão do ambiente de trabalho é de 300mtorr;
3. fonte de energia de aquecimento do substrato, até 1200 graus;
Cámara de membrana de ultra-alto vácuo: material de aço inoxidável sus304, polimento eletrólico da superfície interna, grau de vácuo da base <5e-8 pa;
Câmara de manipulação de amostras: aço inoxidável sus304 material, polimento eletrólito da superfície interna, vácuo da base <5e-5 pa;
Sistema de escape: bomba molecular e bomba mecânica seca;
7. válvula: Adota válvula de bloqueio de vácuo ultra-alto;
Detecção de vácuo: medidor de vácuo;
Dois conjuntos de vias de gás: controle do medidor de fluxo de gás;
Sistema de monitoramento de crescimento de película fina: usando RHEED diferencial de varredura;
Sistema de software de monitoramento: monitoramento e configuração da temperatura do substrato, rotação do substrato e alvo, substituição do alvo, etc.;
12. vários terminais de importação de corrente e medição de temperatura;
13. Outras várias construções: várias mesas de deslocamento de vácuo ultra-alto, barras de transmissão magnética, flanjas de vácuo ultra-alto, juntas de vedação de vácuo ultra-alto, tubos ondulados de vácuo ultra-alto, etc.;

Os usuários compram sistemas PLD puramente importados de alto desempenho de nível de pesquisa com o mínimo de dinheiro.