Conteúdo do produto do revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC:
O revestimento de pulverização magnetrônica de alta potência contém um alvo refrigerado a água de 2 polegadas e uma mesa de amostras rotativa. O alvo refrigerado a água permite que a superfície da amostra após o revestimento não se deforme devido à temperatura excessiva do revestimento ou até danifique a amostra; A mesa da amostra pode ser giratória, pode fazer com que o revestimento do lado giratório da amostra torne o revestimento uniforme após a máscara da superfície da amostra. Equipamento compacto, alto custo-benefício, é o equipamento de revestimento ideal para a produção de uma variedade de filmes metálicos, pode ser usado com uma variedade de alvos metálicos e bombas de vácuo.
Especificações técnicas do revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC:
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Tensão de entrada
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220 C 50/60Hz ,Utilização1000 WTransformadores (15 ASeguranças disponíveis110 VAlimentação
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Potência de saída
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1600 VDC
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250 W
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150 mA max.
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Proteção de sobrecorrente incorporada(>150 mA)
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Sala de amostras
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Tubo de vidro de quartzo, 165 mmDiâmetro externo×150 mmDiâmetro interno×250 mmAltura
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Cabeça de pulverização e mesa de amostras
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Incluído2'Cabeça de pulverização magnetrônica flexível com revestimento frio de água.
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Um diâmetro.50 mmA mesa de amostra de aço inoxidável está disponível em0-5 RPMRotação dentro do intervalo.
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Uma cobertura manual é usada para proteger o alvo.
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O suporte de cabeça de pulverização pode ser usado para manter a cabeça de pulverização quando não está em funcionamento.
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A distância entre a cabeça de pulverização e a mesa de amostra é60-100mmregulamentação entre.
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MaxÁrea de revestimento: 4'Diâmetromax.
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Um. Refrigerador de água circular de ar frio10 L / minfluxo, incluindo o resfriamento da cabeça de pulverização.
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Painel de controle
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6“Painel de controle de tela táctil colorida,PLCIntegração e fácil operação
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Todos os parâmetros são monitorados e controlados por um único painel: vácuo, corrente.
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Pressão de vácuo limite
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IntegradoKF25Porta de vácuo
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Este sistema necessita de um regulador de pressão.ArTanques de gás. (não incluído)
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Para usoAu、Ag、Pt、Cu、Moalvo.VaneBomba de vácuo (não incluída)<1.0E-2 Torr(insensível ao ar)
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Bomba molecular de turbina (não incluída)<1.0E-5 TorrPara usoAl、Mg、Li、Lr、Ti、Znalvo (sensível ao ar)
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Por meio de aspiração e assado contínuos,zuiBaixo vácuo alcançado<4.0E-6Toro
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Atmosfera
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Instalar uma válvula de agulha que permiteArAs entradas de gás permitem um melhor revestimento de plasma
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Este sistema necessita de um regulador de pressão.ArTanque de gás (não incluído)
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alvo
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Inclui um2Polgadas alvo de cobre para teste, tamanho alvo:2Diâmetro de polegadas×2.5mm- É.
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Também pode ser revestido.Ag,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn,Li,MgQuase todos os tipos de materiais metálicos.
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Aviso: A máquina pode revestir alvos de alumínio, cromo ou níquel Mas verifique os métodos de revestimento recomendados antes de usar.
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Por favor, useRFPlasma magnetron pulverização revestido de óxido de alumínio
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Tamanho geral
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L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm
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Peso líquido
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20 kg
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Serviço pós-venda
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Após a entrega da mercadoria,CYKYOferece um ano de serviço pós-venda gratuito, o serviço é limitado ao suporte técnico remoto, como orientação telefônica, orientação de vídeo, orientação de e-mail, envio de acessórios. Se for necessário enviar um serviço no local, o cliente terá que pagar as despesas de viagem do pessoal de serviço e o salário durante a viagem.
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