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Zhengzhou Chengye Instrumentos Científicos Co., Ltd.
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Zhengzhou Chengye Instrumentos Científicos Co., Ltd.

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Máquina de revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC

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Visão geral

Breve Introdução: O revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC é uma máquina de revestimento de pulverização de plasma de magnetrônio de mesa de alta potência com uma cabeça alvo de 2 polegadas refrigerada por água, um refrigerador de água e um rack de amostra giratório. O revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC foi projetado para revestir todas as películas metálicas de até 4 polegadas de diâmetro, incluindo Zn, Al, Ti e películas de carbono a preços razoáveis. Inclui um alvo Al para uso imediato.

Detalhes do produto

Detalhes:

Conteúdo do produto do revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC:

O revestimento de pulverização magnetrônica de alta potência contém um alvo refrigerado a água de 2 polegadas e uma mesa de amostras rotativa. O alvo refrigerado a água permite que a superfície da amostra após o revestimento não se deforme devido à temperatura excessiva do revestimento ou até danifique a amostra; A mesa da amostra pode ser giratória, pode fazer com que o revestimento do lado giratório da amostra torne o revestimento uniforme após a máscara da superfície da amostra. Equipamento compacto, alto custo-benefício, é o equipamento de revestimento ideal para a produção de uma variedade de filmes metálicos, pode ser usado com uma variedade de alvos metálicos e bombas de vácuo.

Especificações técnicas do revestimento de pulverização de magnetrônio de alta potência DC:

Tensão de entrada

220 C 50/60Hz ,Utilização1000 WTransformadores (15 ASeguranças disponíveis110 VAlimentação

Potência de saída

  • 1600 VDC
  • 250 W
  • 150 mA max.
  • Proteção de sobrecorrente incorporada(>150 mA)

Sala de amostras

  • Tubo de vidro de quartzo, 165 mmDiâmetro externo×150 mmDiâmetro interno×250 mmAltura

Cabeça de pulverização e mesa de amostras

  • Incluído2'Cabeça de pulverização magnetrônica flexível com revestimento frio de água.
  • Um diâmetro.50 mmA mesa de amostra de aço inoxidável está disponível em0-5 RPMRotação dentro do intervalo.
  • Uma cobertura manual é usada para proteger o alvo.
  • O suporte de cabeça de pulverização pode ser usado para manter a cabeça de pulverização quando não está em funcionamento.
  • A distância entre a cabeça de pulverização e a mesa de amostra é60-100mmregulamentação entre.
  • MaxÁrea de revestimento: 4'Diâmetromax.
  • Um. Refrigerador de água circular de ar frio10 L / minfluxo, incluindo o resfriamento da cabeça de pulverização.

Painel de controle

  • 6“Painel de controle de tela táctil colorida,PLCIntegração e fácil operação
  • Todos os parâmetros são monitorados e controlados por um único painel: vácuo, corrente.

Pressão de vácuo limite

  • IntegradoKF25Porta de vácuo
  • Este sistema necessita de um regulador de pressão.ArTanques de gás. (não incluído)
  • Para usoAuAgPtCuMoalvo.VaneBomba de vácuo (não incluída)<1.0E-2 Torr(insensível ao ar)
  • Bomba molecular de turbina (não incluída)<1.0E-5 TorrPara usoAlMgLiLrTiZnalvo (sensível ao ar)
  • Por meio de aspiração e assado contínuos,zuiBaixo vácuo alcançado<4.0E-6Toro

Atmosfera

  • Instalar uma válvula de agulha que permiteArAs entradas de gás permitem um melhor revestimento de plasma
  • Este sistema necessita de um regulador de pressão.ArTanque de gás (não incluído)

alvo

  • Inclui um2Polgadas alvo de cobre para teste, tamanho alvo:2Diâmetro de polegadas×2.5mm- É.
  • Também pode ser revestido.AgAlCrNiPtTiSnLiMgQuase todos os tipos de materiais metálicos.
  • Aviso: A máquina pode revestir alvos de alumínio, cromo ou níquel Mas verifique os métodos de revestimento recomendados antes de usar.
  • Por favor, useRFPlasma magnetron pulverização revestido de óxido de alumínio

Tamanho geral

L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm

Peso líquido

20 kg

Serviço pós-venda

Após a entrega da mercadoria,CYKYOferece um ano de serviço pós-venda gratuito, o serviço é limitado ao suporte técnico remoto, como orientação telefônica, orientação de vídeo, orientação de e-mail, envio de acessórios. Se for necessário enviar um serviço no local, o cliente terá que pagar as despesas de viagem do pessoal de serviço e o salário durante a viagem.

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