Forno de tubo do sistema CVD

GR.TFSérie de fornos de tubo de vácuo detalhes

GR.TF série de fogão de tubo de vácuo, com um design de desempenho razoável, conjunto de várias funções em um, segurança, confiabilidade e utilidade alcançam o efeito ideal.

A temperatura é de 1100 ° C a 1800 ° C, a área de aquecimento é de 300 mm.

2, o corpo do forno adota a estrutura da casca do forno de duas camadas, com um ventilador entre a casca do forno de duas camadas, pode ser rapidamente elevado e resfriado, a temperatura da superfície da casca do forno é baixa.

3, tubo de forno com tubo de quartzo de alta pureza ou tubo de corundum, ambas as extremidades usam selagem de flange de alto vácuo SUS304.

4, o material do forno é feito com adsorção de vácuo de fibra policristal de óxido de alumínio importado de alta qualidade, a economia de energia é significativamente melhorada em comparação com o forno elétrico de forno rígido tradicional, com uma forte resistência ao calor e ao frio, o forno elétrico de 1100 ° C é composto de duas partes superiores e inferiores, onde a parte superior do forno pode ser virada para trás de 110 ° C, o forno elétrico de 1100 ° C é um todo-em-um, fácil de remover materiais experimentais e substituir o tubo do forno. Os elementos de aquecimento utilizam fios de resistência suecos Cantel, barras de carbono de silício e barras de silício e molibdênio.

O sistema de controle de temperatura do forno elétrico usa tecnologia de regulação de inteligência artificial, a precisão do controle do instrumento é de ± 1 ℃, com regulação PID, controle de borrosidade, capacidade de auto-ajuste e pode compilar vários programas de aquecimento, com função de alarme de temperatura ultra-alta, função de desligamento de danos de termopar, função de controle de senha de parâmetros incorporados.

6, velocidade de aquecimento ≤30 ℃ / min (velocidade de aquecimento recomendada ≤10 ℃ / min), pode escrever 30 procedimentos de aquecimento automático, controle de silício controlável, equipado com medidor de tensão digital LED, medidor de corrente.

Interface de comunicação RS-485 opcional, software de gerenciamento de dados, com dados históricos de registro sem papel e curva de aquecimento, função de correção de desvios de temperatura, pode gerenciar vários dispositivos e análise remota de resolução de problemas.

8, vários projetos de proteção de segurança, bom desempenho de segurança e longa vida útil.

O forno elétrico pode bombear vácuo, ventilar a atmosfera, o vácuo pode atingir 10pa (bomba mecânica), se necessário, um vácuo mais alto pode escolher a bomba molecular, até 6.67x10-3pa.

Configuração padrão:

1, 304 flange de aço inoxidável 1 conjunto

2, anéis de vedação 4

3, fogão 2

4, um fogão

5, instruções, cartão de garantia, certificado de aprovação 1 conjunto

6, tubo de quartzo ou corundum 1

Bomba de alto vácuo (bomba molecular)

A bomba molécular composta da série GR-620/GR-500F é composta por bombas moléculares compostas de desempenho da série F160/620 ou bombas moléculares compostas da série FF-160/500F, bombas de bombeamento frontais, válvulas de descarga de separação, tubulações frontais, protetores de corte de água, fontes de energia da bomba molecular, sistemas de detecção de alto vácuo (vácuômetro composto), fontes de energia de controle e outros equipamentos de obtenção de vácuo ultra-alto limpo montados no rack. Instalação fácil, operação simples, fácil de conectar, desempenho confiável, pode ser amplamente utilizado em análise de superfície, tecnologia de acelerador, equipamentos de semicondutores, tecnologia de plasma, fabricação de dispositivos de vácuo elétrico e várias áreas da tecnologia de vácuo.

FJ-620 unidade de bomba molecular características técnicas:

GR.TFModelos e especificações do forno a vácuo