Cromométrico de íons de hélio para análise de tetrafluorocarbono

O espectrómetro de íons de hélio é adequado para a detecção de traços de impurezas em gases usados ​​na indústria eletrônica, com pequenas concentrações de detecção de até 5 ppb. O instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostragem têm uma via de ar de proteção de sopro; Toda a máquina é projetada com caixa multi-coluna e equipada com sistema de correção automática da pressão de amostragem

Cromométrico de íons de hélio para análise de tetrafluorocarbonoEquipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, as válvulas de amostragem são equipadas com uma via de ar de proteção de sopro; Toda a máquina é projetada com uma caixa de colunas múltiplas e equipada com um sistema de correção automática da pressão de amostra para garantir o volume de amostra de diferentes substâncias. Os produtos foram premiados com o projeto de nível A de transformação de resultados de alta tecnologia em Xangai.

Projetos	Indicadores
Tetrafluoreto de carbono (CF)4Pureza (fracções em volume) / 10-2≥	99.999	99.995	99.99
Nitrogênio (N)2Conteúdo (fracções em volume) / 10-6＜	4	20	40
Oxigênio + argônio (O)2+ Ar) conteúdo (fracções em volume) / 10-6＜	1	5	10
Dióxido de carbono (CO)2Conteúdo (em fracções de volume) / 10-6＜	1	5	10
Conteúdo de monóxido de carbono (CO) / 10-6＜	0.1	0.5	1
Hexafluoreto de enxofre (SF)6Conteúdo (em fracções de volume) / 10-6＜	1	1	5
Umidade (H)2O) Conteúdo (fracções de volume) / Conteúdo, 10-6＜	3	5	10
Conteúdo de acidez (em HF) (em fracções de volume)/10-6＜	0.1	0.3	0.3
Outros halocarbonetosaConteúdo (em fracções de volume)/10-6＜	1	10	30
Conteúdo total de impurezas (fracções em volume) / l0-6 ≤	10	50	10
partículas	Oferta e demanda acordados	Oferta e demanda acordados	Oferta e demanda acordados
Outros halocarbonetos incluem: hexafluoroetano, octafloropropano, etc.