• O que é um semicondutor

Semicondutor (semicondutor), refere-se a um material que possui propriedades condutivas a temperatura normal entre o condutor (condutor) e o isolador (isolador).

Os semicondutores de acordo com a tecnologia de fabricação podem ser divididos em: dispositivos de circuito integrado, dispositivos separados, semicondutores optoelétricos, IC lógico, IC analógico, armazenamento e outras grandes categorias.

• O que é um chip?

O chip também é chamado de microcircuito (microcircuit), microchip (microchip), circuito integrado (IC). Refere-se a uma placa de silício que contém circuitos integrados, de pequeno tamanho, muitas vezes como parte de um computador ou outro dispositivo eletrônico.

• Processo de fabricação

Nota: CMP significa polimento mecânico químico*Imagem da rede

• Gravação e Gravação

A fotografia é o processo de transferência de gráficos para uma cola fotográfica que cobre a superfície de uma placa de silício semicondutor. Estes gráficos precisam ser transferidos para as camadas finas do dispositivo que compõe a gravação fotográfica, um processo que chamamos de gravação, ou seja, a gravação seletiva da parte não oculta dessa camada fina.

• Método de gravura

Existem dois métodos básicos de gravura: gravura química por meio úmido e gravura seca.

O mecanismo de gravação química por meio de métodos úmidos consiste principalmente em três fases: o reator é difundido para a superfície do reator, a reação química ocorre na superfície e, em seguida, o produto da reação é removido da superfície por difusão. Gravação química úmida é mais apropriada para a gravura de superfície de silício policristalino, óxidos, nitretos, metais e compostos do grupo III-V.

As tecnologias de espectroscopia de infravermelho próximo têm amplas aplicações na indústria de semicondutores devido às seguintes vantagens*.

• Métodos não invasivos
• Pequenas poluições evitadas
• Alta precisão e boa reprodutividade
• Sem diluição da amostra
• Pode ser analisada quantitativamente
• Pode fazer análises químicas e indicadores físicos.
• Espectrómetros de infravermelho próximo on-line com sondas de fibra óptica personalizadas podem ser integrados em todo o sistema

► Caso de aplicação 1: Medição de líquido de gravura de ácido misturado com espectrômetro de infravermelho próximo

O espectro de medição de discos de viscosidade de 1 mm e 4 mm é escolhido a seguir, observando o espectro, o ruído espectral de discos de viscosidade de 4 mm começa a aumentar a partir de 1900nm, por isso escolhemos discos de viscosidade de 1 mm para medição.

Os valores numéricos do conteúdo de cada componente da gravura de ácido mesclada modelado e medido pelo software Vision e análise dos métodos convencionais de laboratório são mostrados na tabela abaixo, e os resultados da previsão do infravermelho próximo podem ser vistos em grande parte consistentes com os métodos de laboratório, com pequenos erros.

► Caso de aplicação 2: medição de líquido de limpeza com espectrômetro de infravermelho próximo on-line

A imagem abaixo mostra o monitoramento contínuo do estado do líquido de limpeza SC1 do cliente com o espectrômetro de infravermelho próximo on-line da 万通 Suíça. Podemos ver que com o consumo de líquido de limpeza, NH₄O teor de OH diminui gradualmente e os clientes podem operar o processo de limpeza de acordo com as circunstâncias monitoradas.

► Caso de aplicação 3: Monitoramento dinâmico do isopropanol IPA com espectrômetros de infravermelho próximo on-line

O isopropanol IPA funciona como um removedor de limpeza, misturando impurezas com o solvente durante o processo de limpeza. Seu espectro de infravermelho próximo é mostrado abaixo, e o efeito da impureza EKC-265 no espectrograma é claramente visível na faixa de comprimentos de onda de 1900 a 2000 nm.

Usamos essa banda para construir um modelo de infravermelho próximo do EKC-265, que pode ver o modelo R.²Para 9,9989, a SEC é de 0,0629. Usando esse modelo, podemos monitorar as mudanças no teor de impurezas no isopropanol.

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• Tecnologia espectral sem perdas
• Comprimento de onda de 800-2200nm para uma ampla gama de aplicações
• Análise qualitativa, quantitativa multicomponente e de tendências em tempo real
• O instrumento cumpre o grau de proteção NEMA4X
• Sem reagentes químicos, poupança de custos ecológica
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