LAUDA-Noah POU

Termostatos de processo termoelétricos, adaptados para a indústria de semicondutores–20Para90 ° C

Com base no princípio comprovado de condução térmica de Pal, o sistema de controle de temperatura da termoelétrica LAUDA-Noah POU oferece um controle de temperatura repetitivo para aplicações de gravura a plasma. O controle dinâmico da temperatura do ESC permite que a POU seja aplicada a todos os tipos de processos de gravura.

Com eficiência energética, poupança de espaço e controle estável da temperatura, este sistema inteligente melhora perfeitamente a uniformidade de wafer a wafer.